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특허 실적

Non-maxwellian Ar 플라즈마 대상 전자 에너지 분포 함수 결정 광진단 방법론 개발

본문

발명가
권지원, 박지훈
등록/출원일
20220630
구분
대한민국
2022 한국가속기 및 플라즈마연구협회, 한국물리학회 플라즈마물리학분과 정기학술대회