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특허 실적

다중 주파수 용량 결합성 플라즈마 전압-전류 신호 기반 이온 에너지 분포 실시간 모니터링 방법론 개발

본문

발명가
박태준, 이하늘, 손성현
등록/출원일
20220630
구분
대한민국
2022 한국가속기 및 플라즈마연구협회, 한국물리학회 플라즈마물리학분과 정기학술대회