특허 실적
"VHF-CCP 설비에서 Ar/SF6 플라즈마 분포가 Si 식각 균일도에 미치는 영향 분석"
등록일 : 20220216 구분 : 대한민국
"PI-VM 기반 공정결과 경시변화 제어기 개발"
"현상학적 모델 기반 전자 밀도 예측 제어기 개발"
"Investigation of ion collision effect on electrostatic sheath formation"
등록일 : 20211209 구분 : 대한민국
"Development of Non-invasive Plasma Density Uniformity Monitoring Method in Capacitively Coupled Plasma"
등록일 : 20211124 구분 : 대한민국
등록일 : 20211118 구분 : 대한민국
"비정질 탄소막(ACL) 하드 마스크 넥킹 위치 가상 예측 모델 (PI-VM_neck) 개발"
"Development of Si Etch Profile Virtual Metrology using Plasma Information(PI-VM) in SF6/O2/Ar Capacitively Coupled Plasma"
등록일 : 20211104 구분 : 일본
"주요 OECD 국가 간 기술개발의 재생에너지 보급 효과 분석"
등록일 : 20211105 구분 : 대한민국
"구리 가격과 산업생산지수의 공적분 관계 분석"
등록일 : 20211028~2 구분 : 대한민국
"패널 모형을 통한 기술개발의 재생에너지 보급 효과 분석"
"효과적인 프록시 모델의 학습을 위한 초기 샘플링 기법 비교"
등록일 : 20211028 구분 : 대한민국
"채널저류층의 불확실성 평가를 위한 DCGAN기반의 모델 재생성 기법 비교"
"VAE를 이용한 앙상블 기법 채널저류층 특성화"
"딥러닝 기반 펌프 카드 분류를 이용한 로드 펌프 이상 진단"