Investigation of ion collision effect on electrostatic sheath formation 본문 발명가 이하늘, 이명건, 배남재, 박태준, 손성현 등록/출원일 20211209 구분 대한민국 APCTP Workshop: Frontiers in Low-Temperature Plasma Physics: Modeling and Diagnostics 목록 이전글현상학적 모델 기반 전자 밀도 예측 제어기 개발 22.04.22 다음글Development of Non-invasive Plasma Density Uniformity Monitoring Method in Capacitively Coupled Plasma 22.04.22