현상학적 모델 기반 전자 밀도 예측 제어기 개발 본문 발명가 이인규, 권지원, 박지훈 등록/출원일 20220216 구분 대한민국 제62회 한국진공학회 동계정기학술대회 목록 이전글PI-VM 기반 공정결과 경시변화 제어기 개발 22.04.22 다음글Investigation of ion collision effect on electrostatic sheath formation 22.04.22