PI-VM 기반 공정결과 경시변화 제어기 개발 본문 발명가 권지원, 이인규, 박태준, 박지훈 등록/출원일 20220216 구분 대한민국 제62회 한국진공학회 동계정기학술대회 목록 이전글VHF-CCP 설비에서 Ar/SF6 플라즈마 분포가 Si 식각 균일도에 미치는 영향 분석 22.04.22 다음글현상학적 모델 기반 전자 밀도 예측 제어기 개발 22.04.22