반도체 식각 공정 지능화를 위한 플라즈마 장비 물리 데이터 중요성 연구 본문 발명가 권지원, 이명건, 박태준, 배남재, 이하늘, 박지훈, 이인규, 손성현 등록/출원일 20210520 구분 대한민국 2021년 반도체디스플레이기술학회 춘계학술대회 목록 이전글장비 플라즈마 데이터 기반 지능형 제어 시스템 개발 22.04.22 다음글희토류 관련 국내산업 연관분석을 위한 기초자료조사 22.04.22