장비 플라즈마 데이터 기반 지능형 제어 시스템 개발 본문 발명가 권지원, 이명건, 박태준, 배남재, 이하늘, 박지훈, 이인규, 손성현 등록/출원일 20210702 구분 대한민국 2021 KAPRA & KPS/DPP Conference 목록 이전글반도체 식각 공정용 플라즈마 정보 인자 활용 기술 소개 22.04.22 다음글반도체 식각 공정 지능화를 위한 플라즈마 장비 물리 데이터 중요성 연구 22.04.22