Development of Virtual Metrology Using Plasma Information Variables to Predict Plasma Density Distribution in Capacitively Coupled Argon Plasma 본문 발명가 손성현, 이하늘, 이인규 등록/출원일 20210820 구분 대한민국 2021 진공학회 목록 이전글섬광검출기 중성자-감마선 분리를 위한 전하비교법에서 파형분석변수 최적화 22.04.22 다음글반도체 식각 공정용 플라즈마 정보 인자 활용 기술 소개 22.04.22