다중 채널 플라즈마 형성을 위한 다중 갭 스위치 본문 발명가 정경재, 류종현, 최영환 등록/출원번호 1020240062207 등록/출원일 2024-05-10 구분 대한민국 목록 이전글이온빔 에칭 디바이스 25.02.11 다음글마이크로 원자로 25.02.11