이온빔 에칭 디바이스 본문 발명가 정경재, 김윤환, 이민근 등록/출원번호 1020240032078 등록/출원일 2024-03-06 구분 대한민국 목록 이전글용융염원자로용 전기화학 센서 및 이를 이용한 핵분열생성물 농도 측정 방법 25.02.11 다음글다중 채널 플라즈마 형성을 위한 다중 갭 스위치 25.02.11