고종횡비 식각 공정의 마스크 식각 예측을 위한 플라즈마 정보 인자 기반 가상 계측 기술 개발 본문 발명가 배남재, 박지훈, 박태준, 권지원, 이인규 등록/출원일 20220630 구분 대한민국 2022 한국가속기 및 플라즈마연구협회, 한국물리학회 플라즈마물리학분과 정기학술대회 목록 이전글Experimental Study on Breakdown Condition in Gas Injection Hole 24.07.11 다음글고종횡비 식각 공정의 표면 식각/증착 반응 모델 적용 플라즈마 정보 인자 기반 하드 마스크 넥킹 가상 계측 기술 개발 24.07.11